导读: 今天来聊聊关于光刻机制造厂家,光刻机生产厂家的文章,现在就为大家来简单介绍下光刻机制造厂家,光刻机生产厂家,希望对各位小伙伴们有所...
今天来聊聊关于光刻机制造厂家,光刻机生产厂家的文章,现在就为大家来简单介绍下光刻机制造厂家,光刻机生产厂家,希望对各位小伙伴们有所帮助。
1、1.ASML--荷兰2.尼康--日本3.佳能--日本4.SMEE--中国拓展资料:光刻机又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。
2、常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。
3、光刻意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。
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