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激光位移传感器的原理及信号处理方式是什么(激光位移传感器的原理及信号处理方式)

激光位移传感器的原理及信号处理方式是什么(激光位移传感器的原理及信号处理方式)

激光位移传感器是利用激光技术进行测量的传感器。它由激光器、激光探测器和测量电路组成。激光传感器是一种新型测量仪器。它能以非接触的方式测量被测物体的位置和位移。它可以测量精确的几何尺寸,如位移,厚度,振动,距离和直径。

激光具有良好的线性,并且激光位移传感器比已知的超声波传感器具有更高的精度。然而,激光发生装置相对复杂和庞大,因此激光位移传感器的应用范围要求很高。

信号处理方法有:

1、方向辨别原理

在实际应用中,位移有两个方向,即选择一个方向后,位移有正负之分,所以不能用光电元件测量莫尔条纹信号来确定位移方向。为了辨别方向,需要两个相位差为/2的莫尔条纹信号。如图2所示,两个光电元件以1/4条纹间距的距离放置,以获得相位差为/2的两个电信号u01和u02。整形后,两个方波信号u01 而u02 都获得了。光栅向前移动时,u01超前u0290度,向后移动时,u02超前u0190度,因此可以通过电路鉴相来确定光栅的移动方向。

2、细分技术

随着测量精度的提高,光栅间距的单位可以不能满足要求,因此有必要采取适当的措施细分莫尔条纹。所谓细分就是在一个周期内发出若干个脉冲,使莫尔条纹信号发生变化,以减少脉冲当量。如果一个周期发出n个脉冲,测量精度可以提高n,每个脉冲等于原螺距的1/n。因为细分后计数脉冲的频率提高了N倍,所以也叫N倍频。

通常有两种细分方式:一种是直接细分。当两个光电元件放置在相差1/4莫尔条纹间距的位置时,可以得到两个相位差为90的电信号,经反相器反相后可以得到四个相位差为90的交流信号。类似地,通过在两个莫尔条纹之间依次放置相隔1/4条纹间距的四个光电元件,也可以获得相位差为90o的四个交流信号,并且可以实现四倍分频。第二,电路细分。

审计唐子红

标签:信号传感器测量


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